Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС

R. . Khalestkiy, A. M. Skvortsov, Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г.


Read the full article 

Abstract

В настоящей работе приведены результаты исследований пористости слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Sin/к), осаждаемого на планарную структуру.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2018 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика