Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС

R. . Khalestkiy, A. M. Skvortsov, Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г.


Read the full article 

Abstract

В настоящей работе приведены результаты исследований пористости слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Sin/к), осаждаемого на планарную структуру.


Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика