Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС

Фролкова Е. Г., R. . Khalestkiy, A. M. Skvortsov, Семенов А. Е., Новиков С. Н.


Read the full article 

Abstract

В настоящей работе приведены результаты исследований электрической прочности слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Si2), осаждаемого на планарную структуру. Электрическая прочность является одним из важнейших параметров диэлектрика применяемого для межслойной изоляции.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2018 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика