ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ФОСФАТНОГО СТЕКЛА НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ

A. M. Skvortsov, Стройков И.И.


Read the full article  ';

Abstract

В работе проведены исследования нанокомпозитных пленок на основе кремния,  диоксида кремния и фосфатного стекла. Разработана лабораторная технология получения нанокомпозитных пленок. Пленки изготавливались на термически окисленных монокристаллических кремниевых пластинах. Исследованы структурные, а также электрофизические особенности и характеристики, полученных нанокомпозитов.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2024 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика