ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Y. A. Gatchin, Крутов М. А., Миронов И. А., Рейтеров В. М., Гарибин Е. А., Демиденко А. А.


Read the full article 

Abstract

Совершенствование технологии выращивания монокристаллов фторида кальция: получения наилучших характеристик пропускания в ВУФ-области спектра,  достижение минимальных значений двулучепреломления.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2018 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика