ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ЭЛЕМЕНТОВ ЛАЗЕРНОЙ ТЕХНИКИ
И ГРАДИЕНТНОЙ ОПТИКИ

Землянский Владимир Сергеевич, Gorlyak Andrei Nikolaevich, Степанчук Андрей Александрович, Khramtsovsky Igor Anatolievich

, VOLUME , NUMBER ( )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ЭЛЕМЕНТОВ ЛАЗЕРНОЙ ТЕХНИКИ И ГРАДИЕНТНОЙ ОПТИКИ

Землянский В.С., A. N. Gorlyak, Степанчук А.А., I. A. Khramtsovsky

Read the full article

Abstract

В работе рассмотрены особенности применения макро- и микроскопических характеристик для описания поляризационных свойств неоднородных оптических систем в методе эллипсометрии лазерной техники и градиентной оптики. Изложен эллипсометрический метод определения инкремента показателя преломления по аксиальному сечению градана, основанный на применении двухканальных эллипсометров, в которых по одному из каналов измеряется разность фаз между двумя взаимно ортогональными составляющими отраженного светового пучка, а по второму – азимут линейной восстановленной поляризации.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License