ОПТИКО–ГЕОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННЫХ СОСТОЯНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОСЕНСОРНОЙ ТЕХНИКИ

A. G. Korobeynikov, V. L. Tkalich


Read the full article 

Abstract

На базе поляризационно-оптического метода предлагается оптико-геометрический метод определения напряженно-деформированных состояний элементов микроэлектроники и микросенсорной техники. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка неразрушающих бесконтактных оптических методов исследования стереометрии и внутренних структурных дефектов элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники”


Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика