РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР

A. G. Korobeynikov, V. L. Tkalich, B. P. Papchenko


Read the full article 

Abstract

На базе интерферометрического метода разработана автоматизированная система определения параметров шероховатости микро – и наноструктур. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка методов исследования качественных и количественных характеристик наносистемных структур”.


Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика