Применение тонкопленочной технологии для изготовления образцовых средств аттестации спектроэллипсометрических характеристик элементов градиентной оптики

S. A. Alekseev, Барденков К. В.


Read the full article 

Abstract

Широкому использованию эллипсометрии в науке и технике препятствует отсутствие системы обеспечения единства измерений в этой области, включающей государственные эталоны, образцовые измерительные установки, поверочные схемы и соответствующую нормативно-техническую документацию. Это приводит к тому, что эллипсометры нельзя использовать в качестве средств измерений, и, следовательно, практически невозможно сравнивать результаты измеряемые в различных условиях. Поэтому разработка метрологического обеспечения является актуальной задачей, от успешного решения которой во многом зависит действенность контроля и надзора за эллипсометрами в масштабе страны.


Keywords:

градиентная оптика, метрологическое обеспечение

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика