Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера

V. P. Veiko, Дышловенко С. С., Пилюгина Ю. А., A. M. Skvortsov


Read the full article 

Abstract

Для успешного решения практических задач по созданию устройств интегральной наноэлектроники необходим широкий фронт фундаментальных исследований по созданию новых композитных материалов и изучению их свойств. Одним из перспективных материалов наноэлектроники является композит на основе диоксида кремния с включениями нанокластеров кремния (НКК).


Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика