Метод бесконтактного контроля локальных геометрических характеристик микроструктуры поверхности объектов с использованием интерферометров малой когерентности

V. N. Vasilev, I. P. Gurov, A. S. Zakharov


Read the full article 

Abstract

Анализ микрорельефа шероховатых поверхностей имеет важное значение при проведении научных исследований и контроле качества в процессе производства многих видов изделий. При этом бесконтактные оптические методы представляют наибольший интерес.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2018 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика