Отражательная эллипсометрия в приборостроении

Антонов С. В.


Read the full article 

Abstract

Эллипсометрия является оптическим методом, дающим возможность бесконтактного выявления нарушений поверхности, программного моделирования воздействия структурных дефектов на свойства пленок, а также решения ряда других задач механики и оптики. Важной особенностью метода эллипсометрии является наличие матричного аппарата, который эффективно реализуется программным путем.


Keywords:

эллипсометрия, приборостроение

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика