ЩЕЛОЧНОЕ ВСКРЫТИЕ МАКРОПОР ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР СО СКВОЗНЫМИ КАНАЛАМИ

Федулова Г. В.


Read the full article 

Abstract

 

В работе рассматривается одна из важных задач при получении кремниевых структур на основе макро-
пористого кремния – задача вскрытия пор с целью получения сквозных каналов в кремниевой пластине.
Для решения данного вопроса использовался метод анизотропного щелочного травления.

Keywords:

макропоры, кремниевые структуры

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика