Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
РАЗРАБОТА ЛАБОРАТОРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ
Read the full article
';
Abstract
В работе исследуется возможность формирования нанокомпозитных пленок на основе кремния, диокси-
да кремния и различных силикатных стекол. Пленки изготавливались на термически окисленных моно-
кристаллических кремниевых пластинах. Разработана лабораторная технология получения порошков
материалов, из которых готовится суспензия, нанесения суспензии на подложку и формирования пленок
путем спекания.
Keywords:
кремниевые подложки, макропоры
