Menu
Publications
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Технология создания кремниевого композита с активными активированными диэлектрическими свойствами
Read the full article
Abstract
Целью настоящей работы является создание кремниевого композита с активными диэлектрическими свойствами, совместимого с существующей кремниевой технологией в микроэлектронике.