Технология создания кремниевого композита с активными активированными диэлектрическими свойствами

Овечкина Е. В.


Read the full article 

Abstract

Целью настоящей работы является создание кремниевого композита с активными диэлектрическими свойствами, совместимого с существующей кремниевой технологией в микроэлектронике.


Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика