Технология создания кремниевого композита с активными активированными диэлектрическими свойствами. Journal Scientific and Technical Of Information Technologies, Mechanics and Optics

2018 , VOLUME 18, NUMBER 5 ( September-October )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Menu

Publications

Editor-in-Chief

Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.

Partners

Технология создания кремниевого композита с активными активированными диэлектрическими свойствами

Овечкина Е. В.

Read the full article

Abstract

Целью настоящей работы является создание кремниевого композита с активными диэлектрическими свойствами, совместимого с существующей кремниевой технологией в микроэлектронике.

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License

Copyright 2001-2018 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.