Исследование механических и ионных нарушений элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники с помощью эллипсометрии

V. L. Tkalich, Y. A. Gatchin, A. G. Korobeynikov, Копорская Д. Н.


Read the full article 

Abstract

В настоящее время в развитии техники наблюдается тенденция использования функциональных объектов малых размеров. Примером может служить электронная техника, в которой микроминиатюризация приборов уже сейчас требует применения элементов, размеры которых менее нескольких микрон.


Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика