Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА НАНОИМПРИНТА ДЛЯ ЕДИНИЧНОГО КОПИРОВАНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ФРЕНЕЛЕВСКОЙ И МИКРО- ОПТИКИ
Read the full article
';
Abstract
Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской
и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность пере-
дачи мелких деталей, в частности, вакуумирование силоксана и УФ-отверждаемого акрилата при затека-
нии в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.
Keywords:
микрооптика, метод наноимпирита
