ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА НАНОИМПРИНТА ДЛЯ ЕДИНИЧНОГО КОПИРОВАНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ФРЕНЕЛЕВСКОЙ И МИКРО- ОПТИКИ

Арефьева Н. Н.


Read the full article 

Abstract

 

Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской
и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность пере-
дачи мелких деталей, в частности, вакуумирование силоксана и УФ-отверждаемого акрилата при затека-
нии в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.

Keywords:

микрооптика, метод наноимпирита

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика