МОДЕЛИРОВАНИЕ И ОПТИМИЗАЦИЯ СУБЛИМАЦИОННОГО РОСТА ОБЪЕМНЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

Базаревский Д. С.


Read the full article 

Abstract

 

В работе представлена детальная математическая модель сублимационного роста нитрида алюминия и ее
упрощение на основе теории подобия. Рассчитанные на основе разработанной модели поля температуры в
ростовом тигле, распределения скорости роста по поверхности кристалла и эволюции формы кристалла с
хорошей точностью совпадают с экспериментальными данными. Исследованы основные закономерности
массобмена между ростовым тиглем и окружающей средой, выработаны рекомендации по оптимизации
процесса.

Keywords:

системный анализ

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика