Исследование концентраторов механических напряжений и микродеформаций элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники

V. L. Tkalich, Y. A. Gatchin, A. G. Korobeynikov


Read the full article 

Abstract

 

В работе рассмотрен вопрос анализа концентраторов механических напряжений и микродеформаций элементной базы микро- и наноэлектроники, в свете современных представлений о возникновения концен-
траторов напряжений в твердом теле.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2018 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика