Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Гистерезис вольт-фарадных характеристик МОП-структур с поликремниевым затвором
Read the full article
';
Abstract
В работе приведены результаты исследования гистерезиса вольт-фарадных характеристик (ВФХ) МОП-структур с легированным поликремниевым затвором. Показано, что при формировании поликремниево-
го затвора появляется характерный гистерезис ВФХ структур кремний-окисел-поликремний, который связан с процессами релаксационной поляризации, обусловленными движением дефектов в окисле.
