Микромеханические резонансные датчики

Король Д. В., Петрищев М. С.


Read the full article 

Abstract

 

В работе проводится обзор состояния микромеханических резонансных датчиков. Рассматриваются типовые колебательные схемы, приводятся примеры датчиков – микромагнитный датчик, микрогироскоп и
микроакселерометры.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Copyright 2001-2018 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика