УДК536.42; 539.213.27; 681.7.02

ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННОЕ ФОРМИРОВАНИЕ МИКРОЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ СТЕКЛОКЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Новиков Б. Ю., Шадчин М. К.


Читать статью полностью 

Аннотация

Локальная модификация фазового состояния стеклокерамических материалов является перспективным методом формирования микроэлементов. Описаны принципы лазерно-индуцированной фазово-структурной модификации двух типов стеклокерамических материалов – фоточувствительных стекол и ситаллов. Описано применение в данной технологии лазерного излучения различных длин волн. Показа-на возможность изготовления различных типов микроэлементов с широким диапазоном параметров.


Ключевые слова:

микроэлементы, микроустройства, стеклокерамика, фоточувствительное стекло, си-талл, лазерная модификация.

Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика