Язык статьи - русский
Ссылка для цитирования: Мешковский И.К., Плясцов С.А. Измеритель энергии импульсов эксимерного лазера на основе фотоэлектрического эффекта пленок оксида индия-олова // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2017. Т. 17. № 2. С. 256–262. doi: 10.17586/2226-1494-2017-17-2-256-262
Аннотация
Рассмотрены вопросы измерения энергии импульсов эксимерного лазера. Целью работы является создание и исследование работы измерителя энергии импульсов на основе фотоэлектрического эффекта пленок оксида индия-олова. Предложена конструкция и электрическая схема фотоэлектрического измерителя. Проведено сравнение результатов многократных измерений энергии импульсов эксимерного лазера для измерителя на основе фотоэлектрического эффекта и коммерческого детектора на основе пироэлектрического эффекта. Показано, что погрешность измерений с помощью предлагаемого прибора не превышает погрешность измерений для пироэлектрического детектора. Обнаружено, что измеритель на основе фотоэлектрического эффекта обладает рядом преимуществ: он не подвержен влиянию механического воздействия, не требует установки нулевого уровня, менее чувствителен к влиянию температуры пластины чувствительного элемента. В работе определены границы диапазона энергий, в котором может работать чувствительный элемент измерителя. Продемонстрировано, что при плотностях энергий выше 78 мДж/см2 происходит разрушение поверхности под воздействием оптического излучения.
Ключевые слова: оксид индия-олова, фотоэлектрический эффект, измеритель энергии лазерного излучения, эксимерный лазер, тонкие пленки
Список литературы
1. Archambault J.L., Reekie L., Russell P.S. Excimer laser production of fiber Bragg gratings // Proc. SPIE. 1993. V.2044. P.69.doi:
10.1117/12.165676
2. The Digital Display Revolution: Built on Excimer Laser Annealing. Режим доступа: http://www.coherent.co.jp/document/whitepaper/fpd/vyper_laser_annealing.pdf, своб. Яз. англ. (дата обращения 20.02.2017).
3. Sicard E., Boulmer-Leborgne C., Andreazza-Vignolle C., Frainais M. Excimer laser surface treatment of aluminum alloy in nitrogen // Applied Physics A. 2001. V. 73. P. 55–60. doi:
10.1007/s003390100742
4. Hourdakis G., Hontzopoulos E.I., Tsetsekou A., Zampetakis Th., Stournaras C.J. Excimer laser surface treatment of ceramics // Proc. SPIE.1991. V. 1503. P.249–255. doi:
10.1117/12.46937
5. Waugh D., Lawrence J. The enhancement of biomimetic apatite coatings by means of KrF excimer laser surface treatment of nylon 6,6 biopolymer by means of KrF excimer laser surface treatment // Lasers in Engineering. 2011. V.21. P. 95–114.
6. Bhatt D., Williams K., Hutt D.A., Conway P.P. Process optimisation and characterization of excimer laser drilling of microvias in glass // Proc. 9
th Electronics Packaging Technology Conference. Singapore,2007. P. 196–201. doi:
10.1109/EPTC.2007.4469750
7. Optics& Coatings120 nm- 1064 nm. Режим доступа: http://www.actonoptics.com/userfiles/files/Acton-Optics-Brochure-revD5-web.pdf, своб. Яз. англ. (дата обращения 20.02.2017).
8. Eximer Lasers & Optical Systems. Product Catalog. Режим доступа: https://cohrcdn.azureedge.net/assets/pdf/COHR_ExcimerCatalog2016revC.pdf, своб. Яз. англ. (датаобращения20.02.2017).
9. Measuring Laser Power and Energy Output. Режим доступа: http://hank.uoregon.edu/experiments/modelocked-fiberlaser/aboutmeasuringlaserpowerndenergyoutputfinal.pdf, своб. Яз. англ. (дата обращения 20.02.2017).
10. Application Note. Pyroelectric Detectors. Режимдоступа: https://gentec-eo.com/Content/downloads/application-note/AN_202194_Photo_or_Pyro.pdf, своб. Яз. англ. (дата обращения 20.02.2017).
11. Odon A. Processing of signal of pyroelectric sensor in laser energy meter // Measurement Science Review. 2001.V. 1.
N 1. P. 215–218.
12. Whatmore R.W. Piezoelectric and pyroelectric materials and their applications / In: Electronic Materials. Eds. L.S. Miller, J.B. Mullen. Springer, 1991. P. 283–290. doi:
10.1007/978-1-4615-3818-9_19
13. Odon A. Voltage response of pyroelectric PVDF detector to pulse source of optical radiation // Measurement Science Review. 2005. V. 5, Sect. 3.P. 55–58.
14. Gondal M.A., Durrani S.M.A., Khawaja E.E., Laser pulse photodetectors based on Sn-dopes indium oxide films // European Physical Journal Applied Physics. 1998. V. 8. P. 37–42. doi:
10.1051/epjap:1999227
15. Мешковский И.К., Плясцов С.А. Фотоэлектрический и фотомагнитный отклик пленок оксида индия-олова // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2015. Т. 15. № 6. С. 969–975. doi:
10.17586/2226-1494-2015-15-6-969-975
16. Sauli Z., Retnasamy V., Keng C.J., Palianysamy M., Kamarudin H. Reflectance analysis of sputtered indium tin oxide(ITO) using UV Lambda // Applied Mechanics and Materials. 2014. V. 680. P. 102–105. doi:
10.4028/www.scientific.net/AMM.680.102
