КОНТРОЛЬ ОПТИКИ МИКРООБЪЕКТИВОВ НА ИНТЕРФЕРОМЕТРЕ БОКОВОГО СДВИГА ПО СХЕМЕ РОНКИ

Кирилловский Владимир Константинович, Куликов Алексей Николаевич

2007 , ТОМ 07, НОМЕР 9 ( декабрь )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

КОНТРОЛЬ ОПТИКИ МИКРООБЪЕКТИВОВ НА ИНТЕРФЕРОМЕТРЕ БОКОВОГО СДВИГА ПО СХЕМЕ РОНКИ

Кирилловский В.К., Куликов А.Н.

Аннотация

Рассмотрены особенности контроля объектива микроскопа на интерферометре бокового сдвига, созданном на базе схемы Ронки[1]. В дополнение к уникальным возможностям интерферометра сдвига с дифракционной решеткой, нечувствительного к вибрациям и способного работать с применением источника белого света и выделением требуемых спектральных зон при контроле хроматизма, компьютеризация делает данный метод контроля одним из наиболее привлекательных благодаря простоте, экономичности и эффективности.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License