Диагностика поверхностей тонких плёнок при использовании метода эллипсометрии в производственных условиях

Антонов С. В.



Аннотация

В настоящее время практическая область эллипсометрии уже хорошо исследована. Разработано множество высокоточных приборов и методик для диагностики поверхностей и многослойных структур. Например, с помощью эллипсометрии удается измерять толщину оксидной пленки подзатворного слоя на полевых кремниевых транзисторах с точностью до 0,01 нм. Однако большинство таких приборов спроектированы для работы только в лабораторных условиях.


Ключевые слова:

физика, тонкие пленки, эллипсометрия

Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика