ЩЕЛОЧНОЕ ВСКРЫТИЕ МАКРОПОР ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР СО СКВОЗНЫМИ КАНАЛАМИ

Федулова Г. В.



Аннотация

 

В работе рассматривается одна из важных задач при получении кремниевых структур на основе макро-
пористого кремния – задача вскрытия пор с целью получения сквозных каналов в кремниевой пластине.
Для решения данного вопроса использовался метод анизотропного щелочного травления.

Ключевые слова:

макропоры, кремниевые структуры

Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика