Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
РАЗРАБОТА ЛАБОРАТОРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ
Аннотация
В работе исследуется возможность формирования нанокомпозитных пленок на основе кремния, диокси-
да кремния и различных силикатных стекол. Пленки изготавливались на термически окисленных моно-
кристаллических кремниевых пластинах. Разработана лабораторная технология получения порошков
материалов, из которых готовится суспензия, нанесения суспензии на подложку и формирования пленок
путем спекания.
Ключевые слова:
кремниевые подложки, макропоры
