Исследование  
механических и ионных нарушений  элементной базы микроэлектроники  
и микросенсорной техники с помощью эллипсометрии

Ткалич Вера Леонидовна, Гатчин Юрий Арменакович, Коробейников Анатолий Григорьевич, Копорская Дарья Николаевна

2005 , ТОМ 05, НОМЕР 5 ( ОКТЯБРЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Исследование механических и ионных нарушений элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники с помощью эллипсометрии

Ткалич В.Л., Гатчин Ю.А., Коробейников А.Г., Копорская Д.Н.

Аннотация

В настоящее время в развитии техники наблюдается тенденция использования функциональных объектов малых размеров. Примером может служить электронная техника, в которой микроминиатюризация приборов уже сейчас требует применения элементов, размеры которых менее нескольких микрон.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License