ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ПОЛЯ

Бойков В. И., Камнев Д. А., Орешков А. А.



Аннотация

 

Использование интерференционных измерителей микроперемещений позволяет достичь высокой разре-
шающей способности – до 0,01 длины волны используемого излучения. Целью работы является оценка
погрешности определения параметров интерференционной картины. В работе рассмотрен интерферен-
ционный измеритель микроперемещений, построенный по схеме интерферометра Майкельсона, излуче-
ние которого имеет сферический волновой фронт. Получены аналитические зависимости, позволяющие
по известному уровню шумов оценить величину погрешностей вычисления параметров интерференци-
онной картины. Проведенное исследование позволяет выбрать разрешающую способность фотоэлек-
тронной приемной системы измерителя для обеспечения заданной погрешности измерений величины
микроперемещений.

Ключевые слова:

интерферрационное поле, системный анализ

Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика