Меню
Публикации
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Главный редактор
НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор
Партнеры
Исследование нарушенных слоев полированной оптической поверхности и напряжений в клеевых и бесклеевых соединениях оптических элементов методом эллипсометрии
Аннотация
В работе описываются новые возможности многоугловой эллипсометрии по исследованию нарушенных поверхностных слоев на стекле и сапфире. Сформулирован и разработан новый эллипсометрический подход, позволяющий успешно исследовать толстые (порядка десятков мкм) нарушенные слои. Проиллюстрирована возможность быстро и оперативно получать карту величины и направления напряжений с высокой степенью локальности в цифровой форме.
