Электрохимический метод микроструктурирования монокристал- лов кремния (краткий обзор)

Власов В. В.



Аннотация

 

Рассматривается получение пористого кремния методом электрохимического травления в растворе плавиковой кислоты. Описаны химические процессы, происходящие во время травления, механизм образо-
вания пор и зависимость структуры и свойств полученного пористого слоя от условий, при которых проводилось травление



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2018 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика