Влияние лазерного микроструктурирования поверхности кремния на морфологии и оптические свойства полученных структур

Дышловенко С. С., Погумирский М. В., Фам К. Т.



Аннотация

 

В настоящее время процесс лазерного микростуктурирования поверхности широко применяется в полупроводниковой микроэлектронике. Изменяя энергию лазерного
импульса и время воздействия, можно реализовать широкий диапазон режимов воздействия – от локального нагревания до строго дозированного удаления материала. Из ос-
новных способов лазерного микроструктурирования поверхности в настоящей работе используется способ, основанный на локальном нагревании и испарении вещества, ко-
торый позволяет модифицировать структуру поверхности кремния и его свойства.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2018 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика