АНАЛИЗ ТОЧНЫХ И ПРИБЛИЖЕННЫХ МЕТОДОВ РЕШЕНИЯ ОБРАТНОЙ ЗАДАЧИ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ ДЛЯ НЕОДНОРОДНЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ

Новиков Александр Александрович , Прокопенко Виктор Трофимович

2006 , ТОМ 06, НОМЕР 3 ( ИЮЛЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

АНАЛИЗ ТОЧНЫХ И ПРИБЛИЖЕННЫХ МЕТОДОВ РЕШЕНИЯ ОБРАТНОЙ ЗАДАЧИ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ ДЛЯ НЕОДНОРОДНЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ

Новиков А.А., Прокопенко В.Т.

Аннотация

Проведен анализ методов секционирования и математического моделирования при определении профиля показателя преломления неоднородного поверхностного слоя и многослойных неоднородных отражающих систем. Для экспоненциального оптического профиля поверхностного слоя внутрирезонаторных элементов ионных лазеров, выполненных из кварцевого стекла, дан анализ ошибок расчета поляризационно-оптических параметров поверхностного слоя по уравнению эллипсометрии в приближении Борна и обобщенному уравнению эллипсометрии в приближении Друде-Борна.

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License