УДК621.315.592.621.382.002

ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ СИСТЕМЫ Si/SiO2, ИНДУЦИРОВАННЫХ ЛАЗЕРНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ

Кузнецова О. В., Фам К. Т., Халецкий Р. А.


Читать статью полностью 

Аннотация

Приводятся результаты исследования влияния лазерного излучения на структурные свойства системы кремний-термический окисел с использованием методов просвечивающей электронной микроскопии и локальной катодолюминесценции.


Ключевые слова:

лазерное облучение, нанокластеры кремния, система Si/SiO2

Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика