ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОТЕХНИКИ ДЛЯ ИХ ОПТИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ

Представлены результаты эллипсометрических исследований оптических характеристик поверхностных слоев элементов оптотехники, выполненных из натриевосиликатного стекла К8 при различной технологической обработке. Показано, что равенство средних значений толщины и показателя преломления поверхностных слоев, определяемых для неоднородной и однородной моделей отражающей системы в процессе полирования детали, является критерием качества полированной поверхности элементов оптотехники для их оптических соединений. Проведено сопоставление оптических характеристик поверхностных слоев деталей, обработка которых проводилась методами обычного
шлифования и полирования, глубокого шлифования и полирования и с использованием магнитореологической суспензии. В последнем случае можно получить поверхность детали с малыми значениями толщины поверхностных слоев и отклонения показателя преломления поверхностных слоев от объемного значения, малой среднеквадратической величиной высоты шероховатой поверхности

эллипсометрия, поверхностный слой, оптотехника

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License