Халецкий Роман Александрович

Место работы: Университет ИТМО
Ученая степень: кандидат технических наук, доцент
E-mail: halecky@yandex.ru
Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г. Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС
Статья опубликована в выпуске 4(10) за 2003
Фролкова Е. Г., Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н. Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС
Статья опубликована в выпуске 4(10) за 2003
Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. М. Исследование структур типа Siп/к -SiO2-Si с окислами, полученными в различных режимах окисления
Статья опубликована в выпуске 4(10) за 2003
Семенов А. М., Халецкий Р. А., Скворцов А. М. Исследование МОП-структур с окислами, полученными при различных режимах окисления
Статья опубликована в выпуске 4(10) за 2003
Скворцов А. М., Халецкий Р. А. Некоторые особенности деградации МОП-структур под действием γ-излучения
Статья опубликована в выпуске 4(20) за 2005
Скворцов А. М., Соколов В. И., Халецкий Р. А., Смирнов Ю. В. Деградация структур Si-SiO2 с поликремниевым затвором при гамма-облучении в зависимости от напряжения смещения
Статья опубликована в выпуске 9(32) за 2006
Смирнов Ю. В., Халецкий Р. А. Исследование пострадиационного эффекта в МОП-структурах, облученных под напряжением
Статья опубликована в выпуске 6(29) за 2006
Кузнецова О. В., Фам К. Т., Халецкий Р. А. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ СИСТЕМЫ Si/SiO2, ИНДУЦИРОВАННЫХ ЛАЗЕРНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ
Статья опубликована в выпуске 5(69) за 2010
Скворцов А. М., Халецкий Р. А., Хуинь К. Т. ВЛИЯНИЕ ПРОЦЕССА ЛАЗЕРНОГО МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СИСТЕМЫ SiO2/Si
Статья опубликована в выпуске 1(83) за 2013
Скворцов А. М., Хуинь К. Т., Халецкий Р. А. МЕХАНИЗМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ SiO2/Si ПРИ ОБЛУЧЕНИИ СКАНИРУЮЩИМ ПУЧКОМ ИМПУЛЬСНОГО ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА
Статья опубликована в выпуске 3(85) за 2013
Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика