Копорская Дарья Николаевна

Место работы: Университет ИТМО
Ткалич В. Л., Гатчин Ю. А., Коробейников А. Г., Копорская Д. Н. Исследование механических и ионных нарушений элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники с помощью эллипсометрии
Статья опубликована в выпуске 5(21) за 2005
Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика