Контроллеры автоматизированных систем для производства микросистемной техники

Акульшин Ю. Д., Киреева А. А., Козлов В. П., Лобачева А. М., V. M. Musalimov, Пятышев Е. Н.


Read the full article 

Abstract

Микросистемная техника (МСТ) унаследовала от микроэлектроники, наряду с конкретными технологическими приемами, две основополагающие особенности – микроразмеры элементов и макроколичества одновременно обрабатываемых изделий. Первая особенность позволяет изготавливать прецизионные уникальные изделия, размеры и взаимное расположение которых воспроизводятся с субмикронными точностями. Вторая – делает эти устройства дешевыми и доступными для массовых применений.


Keywords:

МСТ, мехатроника

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика