Формирование слоев с переменной толщиной при двойном вращении

L. A. Gubanova, E. S. Putilin


Read the full article 

Abstract

 

В работе рассмотрена математическая модель, описывающая формирование толщины слоев при осажде-
нии из паровой фазы, получаемой методом электронно-лучевого испарения. Слои создаются при испаре-
нии из маленького поверхностного испарителя на подложку, совершающую планетарное вращение. Ме-
жду испарителем и подложками на одной оси с ними размещены круглые диафрагмы, совершающие до-
полнительное вращение. Приведены результаты расчетов распределения толщины слоев по поверхности
элемента, демонстрирующие зависимость характера распределения от параметров, характеризующих
относительное расположение элемента и испарителя.

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика