Программно- аппаратный комплекс производственно-технологического контроля качества микро- и наноэлементной базы электроники

V. L. Tkalich, Y. A. Gatchin, A. G. Korobeynikov, B. P. Papchenko, A. M. Skvortsov


Read the full article 

Abstract

 

В работе рассмотрены вопросы, возникающие в ходе технологического контроля при производстве микро- и наноструктур элементной базы электроники. Проведен анализ серийного образца МИИ-4. Разработаны
принципы, на основе которых можно улучшить технические характеристики МИИ-4. Рассмотрен разработанный на базе этих принципов измерительно-вычислительный комплекс. Приведены примеры его исполь-
зования.

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика