Исследование конфокального оптоэлектронного микроскопа для измерения мер малой длины

Абрамова Л. Ю., Майорова О. В.


Read the full article 

Abstract

В настоящее время появилась необходимость в измерении микро- и наноструктур. С развитием технологий потребовалась высокая точность в изготовлении различных элементов приборов (например, материнских плат в компьютерах, микрочипов, эталонных мер для микроскопов и т.д.).


Keywords:

оптоэлектронный микроскоп

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика