Menu
Publications
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
Editor-in-Chief
Nikiforov
Vladimir O.
D.Sc., Prof.
Partners
Электрохимический метод микроструктурирования монокристал- лов кремния (краткий обзор)
Read the full article
';
Abstract
Рассматривается получение пористого кремния методом электрохимического травления в растворе плавиковой кислоты. Описаны химические процессы, происходящие во время травления, механизм образо-
вания пор и зависимость структуры и свойств полученного пористого слоя от условий, при которых проводилось травление
