Влияние лазерного микроструктурирования поверхности кремния на электрофизические свойства полученных структур

Дышловенко С. С., Стройков И. И., Q. T. Pham


Read the full article 

Abstract

 

Кремний – один из самых широко используемых материалов в современной полупроводниковой микроэлектронике и интегральной оптике. Оптические, электрические,
физические и фотолюминесцентные свойства кремния определяются морфологией и структурой поверхности кремния. Изменяя морфологию и структуру поверхности
кремния, можно изменить и его свойства. В предлагаемой работе проведен эксперимент по лазерному микроструктурированию поверхностей кремния, позволяющий мо-
дифицировать не только поверхность кремния, но и его физические, электрические и оптические свойства и, соответственно, значительно расширить область применения
данного материала.

Copyright 2001-2017 ©
Scientific and Technical Journal
of Information Technologies, Mechanics and Optics.
All rights reserved.

Яндекс.Метрика