Влияние лазерного микроструктурирования поверхности кремния на электрофизические свойства полученных структур

Дышловенко С. С., Стройков И. И., Фам К. Т.



Аннотация

 

Кремний – один из самых широко используемых материалов в современной полупроводниковой микроэлектронике и интегральной оптике. Оптические, электрические,
физические и фотолюминесцентные свойства кремния определяются морфологией и структурой поверхности кремния. Изменяя морфологию и структуру поверхности
кремния, можно изменить и его свойства. В предлагаемой работе проведен эксперимент по лазерному микроструктурированию поверхностей кремния, позволяющий мо-
дифицировать не только поверхность кремния, но и его физические, электрические и оптические свойства и, соответственно, значительно расширить область применения
данного материала.



Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2018 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика