Метод динамического интерферометрического контроля топографии поверхности и приповерхностной томографифической структуры объектов и материалов

Гуров И. П., Захаров А. С., Васильев В. Н.



Аннотация

Интерферометрические методы широко используются при бесконтактном контроле различных объектов. Интерференционные полосы содержат информацию об исследуемом объекте, которую требуется выделить при обработке интерферометрических сигналов с высокой точностью и помехоустойчивостью. Во многих случаях требуется обрабатывать значительные объемы информации о рельефе поверхности объекта на участках большой площади, а также о приповерхностной томографической структуре объекта, поэтому необходимо обеспечивать повышенное быстродействие интерферометрических систем.


Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика