ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА НАНОИМПРИНТА ДЛЯ ЕДИНИЧНОГО КОПИРОВАНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ФРЕНЕЛЕВСКОЙ И МИКРО- ОПТИКИ

Арефьева Н. Н.



Аннотация

 

Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской
и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность пере-
дачи мелких деталей, в частности, вакуумирование силоксана и УФ-отверждаемого акрилата при затека-
нии в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.

Ключевые слова:

микрооптика, метод наноимпирита

Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика