УДК53.084.2

МИКРО- И НАНОМОДИФИКАЦИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО СЛОЯ НА ПОЛИМЕРНОЙ ПОДЛОЖКЕ В РЕЖИМЕ ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ

Пинаев А. Л., Голубок А. О.


Читать статью полностью 

Аннотация

 

Методом динамической силовой литографии (ДСЛ) модифицирована поверхность золотой пленки толщиной 20 нм,
нанесенной на подложку из поликарбоната. Получено пространственное разрешение около 100 нм. Показано, что
пространственное разрешение метода определяется радиусом используемых зондов. Определен оптимальный ре-
жим, при котором вольфрамовый зонд полностью прорезает металлическую пленку. Обсуждаются факторы, влияю-
щие на процесс модификации поверхности методом ДСЛ. Создана двумерная дифракционная решетка с периодом
около 500 нм. Структура решетки исследована с помощью сканирующей полуконтактной силовой микроскопии,
сканирующей и оптической конфокальной микроскопии. Сделан вывод о возможности создания элементов нано-
электроники, нанофотоники и наносенсорики в металл-полимерных системах методом ДСЛ.

Ключевые слова:

сканирующая зондовая микроскопия, литография, динамическая силовая литография

Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика