Микроструктурирование поверхности  кремниевых пластин с помощью лазера

Вейко Вадим Павлович, Дышловенко Светлана Сергеевна, Пилюгина Юлия Александровна, Скворцов Альберт Матвеевич

2004 , ТОМ 04, НОМЕР 3 ( МАЙ-ИЮНЬ )

ISSN 2226-1494 (print), ISSN 2500-0373 (online)

Меню

Публикации

Главный редактор

НИКИФОРОВ
Владимир Олегович
д.т.н., профессор

Партнеры

Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера

Вейко В.П., Дышловенко С.С., Пилюгина Ю.А., Скворцов А.М.

Аннотация

Для успешного решения практических задач по созданию устройств интегральной наноэлектроники необходим широкий фронт фундаментальных исследований по созданию новых композитных материалов и изучению их свойств. Одним из перспективных материалов наноэлектроники является композит на основе диоксида кремния с включениями нанокластеров кремния (НКК).

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License