УДК53.084.2

ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМА ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ В СИСТЕМЕ «МЕТАЛЛ – ПОЛИМЕР»

Пинаев А. Л., Стовпяга А. В.


Читать статью полностью 

Аннотация

 

Предлагается простая и недорогая технология создания проводящих структур с пониженной размерно-
стью на основе применения метода динамической силовой литографии (ДСЛ) к системе «металл – полимер». Приводятся результаты локальной ДСЛ-модификации поверхности поликарбоната и поликарбоната, покрытого алюминиевой пленкой, с использованием вольфрамового нанозондов с радиусом порядка
100 нм. Результаты модификации анализируются с помощью сканирующего зондового и растрового
электронного микроскопов.

Ключевые слова:

сканирующая зондовая микроскопия, литография.

Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика