Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС

Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г.



Аннотация

В настоящей работе приведены результаты исследований пористости слоев окислов кремния, полученных термическим окислением поликристаллического кремния (Sin/к), осаждаемого на планарную структуру.


Информация 2001-2017 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика