ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Гатчин Ю. А., Крутов М. А., Миронов И. А., Рейтеров В. М., Гарибин Е. А., Демиденко А. А.



Аннотация

Совершенствование технологии выращивания монокристаллов фторида кальция: получения наилучших характеристик пропускания в ВУФ-области спектра,  достижение минимальных значений двулучепреломления.




Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License
Информация 2001-2018 ©
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики.
Все права защищены.

Яндекс.Метрика